HX5N0系列全自动探针台
HX5N0系列全自动探针台是专业综合型高效的全自动自动晶圆探针台,具有节省空间,高效率等特点,适用于4英寸、5英寸晶圆,包含二极管,三极管,MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量,可选配多针测试功能,可实现多颗同时测量之要求,提高机器的测试产能。
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HX5N0系列全自动探针台是专业综合型高效的全自动自动晶圆探针台,具有节省空间,高效率等特点,适用于4英寸、5英寸晶圆,包含二极管,三极管,MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量,可选配多针测试功能,可实现多颗同时测量之要求,提高机器的测试产能。
HX5N0系列全自动探针台是专业综合型高效的全自动自动晶圆探针台,具有节省空间,高效率等特点,适用于4英寸、5英寸晶圆,包含二极管,三极管,MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量,可选配多针测试功能,可实现多颗同时测量之要求,提高机器的测试产能。
产品特点:
适用于晶圆高速自动测试,支持多路测试功能,有多样灵活的测试方式及丰富的数据处理功能。 可实现自动扫描、对准定位功能。产品也可依据不同需求定制开发各种附加功能。该结构采用一台全自动和半自动搭配而成,全自动探针台也可以单独使用,具有自动上下片功能,同时,该晶舟后方有待测晶舟缓冲区,支持测试车间自动化,自动加载晶舟,可实现测试车间无人化。
软件功能介绍
1.可测试圆片,测试范围可选,支持隔行抽测和环形测试,MAP图可以编辑测试;
2.支持坏点重测;
3.具备离线打点、同步打点功能;
4.具备接触缓冲功能,针痕稳定;
5.运行精度补偿功能,保证测试的稳定性;
6.测试良率、总数、速度显示;
7.CCD图像自动对准定位;
8.设备具备一定的抗干扰能力,支持高低温测试,运行稳定;
9.多BIN分类测试,测试数据可以存储,可以导出,兼容后道设备格式使用,具有数据统计分析功能;
10.操作员,管理员,系统厂家权限管理功能;