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65K闭循环低温探针台PSM-65K系列

65K闭循环低温探针台PSM-65K系列

PSM-65K低温探针台,采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,温度65K,振动小于1μm,测试温度范围宽,支持65K-350K连续变温,耗电量小,输入功率320W。

65K闭循环低温探针台PSM-65K系列产品概述

  低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试,帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能,从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。


  PSM-65K低温探针台是的一款经济小巧的闭循环低温探针台,其紧凑型以及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<65K-350K高低温真空测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测,实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。


系统特点:

• 采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,温度65K。
• 振动小于1μm。
• 测试温度范围宽,支持65K-350K连续变温。
• 耗电量小,输入功率320W。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作,可以在不破坏真空 的情况下,切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节,能满足4英寸样品的测试。
• 探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA @1V@65K-350K。
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰,提高测试的精准度和稳定性。

65K闭循环低温探针台PSM-65K系列技术参数

参数和指标

探针台主机分类
型号PSM-65K-2
PSM-65K-4
温度范围
65K-350K
控温稳定性
+/-50mK
振动
<1μm
样品座
类型及材料
无氧铜接地镀金样品座
尺寸
2寸
4寸
可选配置

绝缘样品座 (温度只能到400K)

同轴样品座 (温度只能到400K)

 三同轴样品座(温度只能到400K)

探针臂
类型
直流探针臂
数量
4
接头及电缆
三同轴接头+极细同轴低温电缆
漏电流
100fA@1V 真空环境中
信号频率
DC--50MHz
匹配阻抗
50欧姆
位移范围X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm,Z +/-6.5mm R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm,Z +/-6.5mm R+/-10°
光学系统
显微镜放大倍数
10--180倍
分辨率
3微米
视场
22mm
工作距离
90--100mm
真空腔
材料
铝合金
腔体容积
4L
5.5L
整体尺寸
800*800*600
900*900*600
腔体内径
124mm
155mm
视窗尺寸
50mm
100mm
真空腔体窗口
标准石英窗口
防辐射屏窗口
红外吸收窗口
真空度
5E-4 torr
预留接口
2个探针臂接口&2个电学接口
防辐射屏材料
不锈钢
冷却时间
60分钟到77K
100分钟到77K
冷源
斯特林制冷机
专用振动隔离
尺寸
800*800*800
900*900*800
桌推
固定脚&滚轮